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Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential 김용재, 채희엽, 조예근, 이상인 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Dry cleaning of silicon oxide using OF2/NH3 remote plasma 김주은, 이원오, 김두산, 박진우, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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전기적 특성 평가를 통한 Nano-Trench Patterned Si Wafer의 건식 세정 효과 분석 채명균, 최창환 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Comparative Study on the Electrical Characteristics between Gate-First and Gate-Last Like Processed MOS Devices Hoon Hee Han, Donghwan Lim, Yu-Rim Jeon, Jae Ho Lee, Changhwan Choi 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Nano-Scaled Silver Metal Cross Array Fabrication Using Nano-Imprint Lithography on the PET Substrate Yu-Rim Jeon, Young In Gil, Donghwan Lim, Hoon Hee Han, Changhwan Choi 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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NH3 Pre-Plasma Treatment to Reduce Interface State Density of GaN MOS Device 정우석, 임동환, 김영진, 한훈희, 손석기, Andrey Sokolov Sergeevich, 이재호, 최창환 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Molybdenum Disulfide (MoS2) formed by Hydrogen Sulfide (H2S) Sulfurization 최문석, 임동환, Andray Sergeevich, 손석기, 한훈희, 김영진, 이재호, 최창환 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 CO2 snow jet 세정공정 개발에 관한 연구 정지현, 강봉균, 김민수, 이종명, 이규필, 박진구 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Phosgene-free photocatalytic Degradation of TCE and PCE Vapors with Au/TiO2 이영경, 이상준, Le Ngoc Thuan, Sonia Devi Henam, Zhang Qi, 이동근 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Nano size의 CO2 Gas cluster를 이용한 반도체 건식 세정에서 오염입자 제거와 미세 패턴 damage에 관한 연구 김민수, 강봉균, 이승호, 정지현, 윤덕주, 박진구 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |