화학공학소재연구정보센터
번호 제목
26 Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential
김용재, 채희엽, 조예근, 이상인
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
25 Dry cleaning of silicon oxide using OF2/NH3 remote plasma
김주은, 이원오, 김두산, 박진우, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
24 전기적 특성 평가를 통한 Nano-Trench Patterned Si Wafer의 건식 세정 효과 분석  
채명균, 최창환
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
23 Comparative Study on the Electrical Characteristics between Gate-First and Gate-Last Like Processed MOS Devices
Hoon Hee Han, Donghwan Lim, Yu-Rim Jeon, Jae Ho Lee, Changhwan Choi
한국재료학회 2017년 봄 학술대회
22 Nano-Scaled Silver Metal Cross Array Fabrication Using Nano-Imprint Lithography on the PET Substrate
Yu-Rim Jeon, Young In Gil, Donghwan Lim, Hoon Hee Han, Changhwan Choi
한국재료학회 2017년 봄 학술대회
21 NH3 Pre-Plasma Treatment to Reduce Interface State Density of GaN MOS Device
정우석, 임동환, 김영진, 한훈희, 손석기, Andrey Sokolov Sergeevich, 이재호, 최창환
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
20 Characteristics of Molybdenum Disulfide (MoS2) formed by Hydrogen Sulfide (H2S) Sulfurization
최문석, 임동환, Andray Sergeevich, 손석기, 한훈희, 김영진, 이재호, 최창환
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
19 친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 CO2 snow jet 세정공정 개발에 관한 연구
정지현, 강봉균, 김민수, 이종명, 이규필, 박진구
한국재료학회 2011년 봄 학술대회
18 Phosgene-free photocatalytic Degradation of TCE and PCE Vapors with Au/TiO2
이영경, 이상준, Le Ngoc Thuan, Sonia Devi Henam, Zhang Qi, 이동근
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
17 Nano size의 CO2 Gas cluster를 이용한 반도체 건식 세정에서 오염입자 제거와 미세 패턴 damage에 관한 연구
김민수, 강봉균, 이승호, 정지현, 윤덕주, 박진구
한국재료학회 2010년 가을 학술대회