| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구|A study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas 장수욱, 류현우, 최충기, 문준희, 이장희, 유승열, 임완태, 이제원, 전민현, 조관식, 송한정, 백인규, 권민철, 문성진, 신동현 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구|A study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas 장수욱, 류현우, 최충기, 문준희, 이장희, 유승열, 임완태, 이제원, 전민현, 조관식, 송한정, 백인규, 권민철, 문성진, 신동현 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |