| 번호 | 제목 |
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Mo 하부전극을 통한 Wake-up 현상 억제 Hf0.5Zr0.5O2 캐패시터의 제작 및 특성 평가 유근택, 김세현, 박주용, 이동현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Ti 박막의 Direct Scavenging Effect를 이용한 Mo/Hf0.3Zr0.7O2/Si capacitor의 반강유전성 개선에 대한 연구 김세현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Ferroelectric Hafnia using PEALD 성상현, 이건재, 김도현 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
