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Effect of Gas Injection in Inductively Coupled Plasma with Fluorocarbon Plasma using Computational Fluid Dynamic Simulation
황진하, 김대경, 김민식, 박근주, 채희엽
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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Micro fuel cell with the nanogap channel polymer electrolyte membrane based on fully conventional semiconductor processing
김진태, 임연호, 조규형, RIZWAN, 여찬혁
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Novel micro fuel cell based on fully conventional semiconductor processing
김진태, 임연호, 여찬혁, Khan Mohammad Rizwan, 조규형
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Characteristics of fluorocarbon films deposited in perfluorocarbon and unsaturated fluorocarbon plasmas
조성운, 지정민, 김창구
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
| 4 |
Electrical and Optical Properties of Fluorocarbon Films Deposited in C4F8 Plasmas
박병훈, 권혁규, 산토시구마르마하파트라, 김창구
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Insulating Properties of Fluorocarbon Films Deposited in C4F8 Plasmas
박병훈, S.K. Mahapatra, 권혁규, 김창구
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
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나노미터 두께를 가지는 Hot Embossing용 점착방지막의 열적 안정성 특성평가|Characteristics of Thermal Stability of Nanometer Thick Fluorocarbon Films for Hot Embossing
김인권, 차남구, 박창화, 박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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C4F8을 이용한 나노미터 두께를 가지는 Hot Embossing 용 마스터의 점착방지막 형성|(Nanometer Thick Fluorocarbon Films for Hot Embossing Master using C4F8)
김인권, 차남구, 이진형, 박진구
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
