| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
ICP Oxide Etcher 안에서의 가스 흐름의 대칭성 향상|Enhancement of Gas Flow Symmetry in the ICP Oxide Etcher 정원영, 김도현|Won Young Chung, Do Hyun Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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ICP Oxide Etcher 안에서의 가스 흐름의 대칭성 향상|Enhancement of Gas Flow Symmetry in the ICP Oxide Etcher 정원영, 김도현|Won Young Chung, Do Hyun Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |