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SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition
Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Structural and Electrical characteristics of Low-k Silicon Oxycarbide thin film deposited via Remote Plasma Atomic Layer Deposition
Yurim Kwon, Chanwon Jung, Jongwoo Kim, Suhyeon Park, Byunguk Kim, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Electrical and optical properties of hydrogen plasma treated molybdenum-doped indium oxide films synthesized by polymer-assisted deposition method
김재관, 이지면, 김용연
한국고분자학회 2017년 가을 학술대회 |
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Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy
박재형, 한동석, 강민수, 박종완
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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The study on H2 plasma treatment effect in IGZO thin film transistor
김지훈, 방석환, 이승준, 박주현, 고영빈, 최학영, 신석윤, 함기열, 이상헌, 전형탁
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Electrospun nanofibers of PLGA/functionalized SWCNTs nanocomposite for biomedical applications
윤옥자, 이내응, 김현우, 김덕진, 이현정, 이도연, 김도희, 김성수, 노유헌, 윤지영
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Metal Thin film Prepared by Atomic Layer Deposition for Contact Application of Nanoscale Device
방성환, 이한보람, 김형준
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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The effect of Ar + H2 plasma on the low temperature ITO film synthesis on polymer
Chang S. Moon, Yun M. Chung, M. Gaillard, Jeon G. Han
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Preparation of TaN thin film By H2 Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum
김등관, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
