화학공학소재연구정보센터
번호 제목
9 InGaAs 반도체의 습식 세정 시 표면 특성 연구
나지훈, 임상우
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
8 High Mobility GaSb 반도체 표면의 습식 산화 거동 파악
서동완, 이진훈, 나지훈, 임상우
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
7 InAs 반도체 표면의 습식 산화 거동 연구
나지훈, 서동완, 이진훈, 임상우
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
6 MaCE를 이용한 게르마늄 태양전지 효율 향상 연구
임상우, 서동완, 김창헌, 이승효
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회
5 FOUP에서 Al cleaning에 적용가능한 HPM 농도 및 DIW rinse 양에 대한 연구(optimal study on the HPM concentration and DIW rinse of Al cleaning in FOUP)
유철휘, 황갑진, 강성구, 이솔, 김명기, 성덕형, 장성만
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회
4 반도체 웨이퍼 메탈오염방지를 위한 보관용기 오염 제거
장성만, 성덕형, 김명기, 이솔, 강성구, 황갑진, 유철휘
한국공업화학회 2015년 봄 학술대회
3 약산을 이용한 기-액 하이브리드 플라즈마의 산화구리 용해도 분석
권흥수, 이원규
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
2 수소 플라즈마 전처리 공정을 통한 단결정 실리콘 웨이퍼의 표면 패시베이션 특성 비교
김영도, 강민구, 박성은, 송주용, 탁성주, 권순우, 윤세왕, 김동환
한국재료학회 2010년 봄 학술대회
1 Ti-Silicide 형성에 미치는 전세정 효과|The Effect of Precleaning Treatments on The Formation of Ti-Silicide
정상철, 박지수, 윤여분, 노재성, 김재정|Sang-Chul JUNG, Ji-Soo PARK, Yeo-Boon YOON, Jae-Sung ROH, Jae-Jeong KIM
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회