| 번호 | 제목 |
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반도체 웨이퍼 메탈오염방지를 위한 보관용기 오염 제거 장성만, 성덕형, 김명기, 이솔, 강성구, 황갑진, 유철휘 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
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Ti-Silicide 형성에 미치는 전세정 효과|The Effect of Precleaning Treatments on The Formation of Ti-Silicide 정상철, 박지수, 윤여분, 노재성, 김재정|Sang-Chul JUNG, Ji-Soo PARK, Yeo-Boon YOON, Jae-Sung ROH, Jae-Jeong KIM 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
