화학공학소재연구정보센터
번호 제목
7 Atomic Layer Chemical Vapor Deposition of Hf-silicate Gate Dielectrics for Organic Thin Film Transistor Application
이승협, 용기중
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회
6 Atomic layer deposition을 이용한 Hf-silicate 박막 증착과 이를 이용한 펜타센 박막 트랜지스터의 성능 향상
이승협, 용기중
한국재료학회 2009년 가을 학술대회
5 ALCVD를 이용한 Hf-silicate, Ti-silicate 게이트 산화막 성장 및 특성 연구
이승재, 용기중
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
4 Comparative study of ultra-thin HfSixOy and HfSixOy/SiO2 gate dielectrics grown by self-limiting surface reaction between Hf(NC2H5)4 and Si(OC4H9)4 precursor
김재현, 용기중
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
3 Atomic Layer Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Silicate Films
김재현, 용기중
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
2 Dichlorobis[bis(trimethylamido)]hafnium과 물을 이용한 Hafnium Silicate의 단원자층 화학증착
남원희, 강상우, 이시우, 이정현, Steven. M. George
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
1 Electrical and physical characteristics of MOCVD zirconium and hafnium silicate thin films using new combinations of precursors
김재현, 용기중
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회