화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
아드리안, 최지현, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
1 Investigation on High Density Plasma Reactive Ion Etching of CoFeB Thin Films For Nonvolatile Magnetic Random Access Memory
김은호, 소우빈, 공선미, 정지원
한국공업화학회 2010년 가을 학술대회