| 번호 | 제목 |
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Narrow gap filling in 25 nm shallow trench isolation using highly porous organosilica 장정식, 오현택, LEE JAMES SANGMIN 한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |
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Preparation of highly porous organosilica structure for narrow gap filling in 25 nm shallow trench isolation 서영덕, 장정식 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
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Narrow gap filling in 25 nm shallow trench isolation using highly porous organosilica LEE JAMES SANGMIN, 장정식 한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |
