번호 | 제목 |
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The Chracteristics of SiO2 Thin Film Deposited by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using BTBAS precursor Hyeongtag Jeon, Honggi Kim 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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Characteristics of TiO2 thin film by remote plasma atomic layer deposition using a novel Ti precursor Chunho Kang, Heeyoung Jeon, Woochool Jang, Hyunjung Kim, Hyoseok Song, Honggi Kim, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |