| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Effect of Alkaline Agent in Colloidal-Silica Slurry on Polysilicon Chemical-Mechanical Polishing Process. Keum-Seok PARK, Myoung-Yoon LEE, Hyung-Soon PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
| 1 |
Development of slurry for Ru Chemical Mechanical Planarization In-Kwon Kim, Tae-Young Kwon, Jin-Goo Park, Hyung-Soon Park 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
