화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
14	Fabrication of Large Area Nano-Photonic Structure by Using Nano-Imprinting process for High-Temperature Applications 박금환, 김종무, 주병권, 김영석 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회
13	O2 플라즈마 전처리를 통해 플렉시블 기판위에 증착된 Ga-doped ZnO 투명전도막의 특성 이석진, 여인환, 오병진, 김재화, 박재환, 임동건 한국재료학회 2009년 가을 학술대회
12	Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C₂F₆and BCl₃-based gas Plasmas 강동진, 이건교, 이병택 한국재료학회 2006년 봄 학술대회
11	양극산화 알루미나 나노채널을 이용한 실리콘 기판의 나노 기공 제작\|Fabrication of nanotrenches using the AAO nanochannels on Si substrates 최준호, 홍순구, 박문규, 조유석, 우부성, 김도진 한국재료학회 2005년 가을 학술대회
10	마이크로 부품 및 바이오 셀 그리핑을 위한 압전 out-of-plane 방식의 마이크로 그리퍼 설계 및 제조\|Design and fabrication of out-of-plane type piezoelectric micro grippers for gripping micro parts and bio-cells 전창성, 박준식, 이상렬, 문찬우 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
9	C₂F₆유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 산화아연(ZnO) 식각에 관한 연구\|Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas. 이건교, 이병택 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
8	CeO₂완충층을 이용한 SrBi₂Ta₂O₉ 박막의 식각 정지 특성\|Etch Stop Characteristics of SrBi₂Ta₂O₉ Thin Film by Using CeO₂ Buffer Layer 권영석, 심선일, 김용태, 최인훈 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
7	CFD-ACE를 이용한 ICP-RIE공정의 전산모사 이용희, 이광순 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
6	C₂F₆ 및 NF₃ 유도결합플라즈마를 이용한 SiO₂ : Ge 식각에관한 연구\|Inductively coupled plasma Reactive ion etching of Ge doped silica glass using C₂F₆ and NF₃ 이 석 룡, 문 종 하, 김 원 효, 이 병 택 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
5	자성 박막의 건식 식각 송영수, 정지원 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회