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BCl3 based ICP Etching of (100) β-Ga2O3 flake 김만경, 김유경, 백광현, 장수환 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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Ga2O3 nano-flake의 제작 및 응용 김만경, 김유경, 장수환 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
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Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Block Copolymer-Templated Nanostructure Arrays using Atomic Layer Deposition 권세훈 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Fabrication of dual patterned substrate for high light-extraction efficiency of white organic light-emitting diodes 김관, 김양두, 전준호, 백승호, 이헌 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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고효율 백색 유기 발광 소자를 위한 임프린트 기반의 광학적 기능성 기판제작 김관, 김양두, 변민섭, Dang vinh quang, 이헌 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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CF4 plasma를 이용한 MoS2 thin film 식각 방법 윤덕현, 전민환, 염근영 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각 김성희, 전민환, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Fabrication of ZnO Nanowires using Nanoscale Spacer Lithography for Nanowire Device Applications 라현욱, 최광성, 임연호 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 Er 첨가된 광도파막 식각 특성 연구|A study on the etching characteristics of Er doped optical waveguide films using Inductively Coupled Plasma Etching 송명곤, Jiehe Sui, 신동욱 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |