번호 | 제목 |
---|---|
6 |
ICP 플라즈마 반응시스템을 활용한 합성가스 제조기술 곽근재 한국공업화학회 2018년 가을 학술대회 |
5 |
Properties of Inductively Coupled Plasma Source Applied to Internal Linear Antenna using Superimposed Dual Frequency 이수정, 김도한, 김태형, 김수강, 이원오, 김경남, 염근영 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
4 |
Characteristics of deep Si etching using the advanced Bosch process in PFC- and UFC- containing plasmas 지정민, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
3 |
Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
2 |
High Density Plasma Etching of Magnetic Multi-layers of NiFe/Co and NiFe/Al-O/Co 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
1 |
MRAM 응용을 위한 강자성 박막재료의 고밀도 플라즈마 식각 박형조, 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |