번호 | 제목 |
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2 |
밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조 임정수, 구교욱, 최승주, 성보람찬, 조중근, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
1 |
Adsorption Characteristics of IPA-Water Mixture Jin Xing, 김명일, 이융, 이동현 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조 임정수, 구교욱, 최승주, 성보람찬, 조중근, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Adsorption Characteristics of IPA-Water Mixture Jin Xing, 김명일, 이융, 이동현 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |