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Oxygen-pressure Controlled Rapid Thermal Annealing을 통한 스퍼터링 ITZO (Indium-Tin-Zin-Oxide) TFT (Thin Film Transistor) 제작 및 전기적 특성 향상 연구
맹서현, 김재균
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Rapid Thermal Process(RTP) 열처리를 통한 스퍼터링 ITZO(Indium-Tin-Zin-Oxide) TFT(Thin Film Transistor) 제작 및 특성 연구
맹서현, 김재균
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Sputtering 과정의 산소 분압 조절에 따른 Indium-Tin-Zinc-Oxide(ITZO) 박막 트랜지스터의 특성과 안정성 연구
김현진, 김재균
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of InSnZnO Thin Films
김재현, 조신호
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Corrugated Heterostructure ITZO-IGZO bilayer exploiting 2 dimensional electron gas system
이민욱, 조정완, 김윤정, 박성규
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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Double Channel 구조를 이용하여 전자 이동도와 신뢰성을 향상시킨 Oxide Thin Film Transistor 소자 제작 및 분석
안수정, NGUTEN THI CAM PHU, 장경수, 김정수, 박희준, 이준신
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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a-ITZO와 nanocrystalline ITZO를 적층하여 전자 이동도를 증가시킨 박막 트랜지스터 연구
이준신, 장경수, NGUYEN THI CAM PHU, 박희준, 김정수, 김명중
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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실리콘 질화막 포획층의 밴드갭 에너지 조절을 통한 비정질 인듐-주석-아연-산화물 비휘발성 메모리 소자의 Memory Window 특성 향상
이준신, 김태용, 장성운
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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실리콘 산화질소게이트 절연막의 수소화 및 계면의 거칠기에 따른 a-ITZO 채널층을 이용한 박막트랜지스터의 전기적 특성 향상
이준신, 김태용, 유장희
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
