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Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) Materials using Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for MRAM devices
김예은, 김두산, 김주은, 길유정, 장윤종, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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나노미터급에서 Magnetic tunneling junction 물질의 etch damage 개선에 관한 연구
양경채, 김수강, 이호석, 염근영
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Effect of Bias Frequency on the Etching of Magnetic Tunnel junction Materials
Geun Young Yeom, Kyong Nam Kim, Kyung Chae Yang, Sung Woo Park
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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A novel process for the fabrication of three-dimensional Si nanostructures
조성운, 김창구
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Nanopatterning of Co73Pt27-TiO2 magnetic thin film by focused ion beam irradiation
김성동, 박진주
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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NiFe/FeMn/Al/NiFe 다층박막에서 상부층 NiFe 표면 에칭 효과|Top NiFe Surface Ion Beam Etching Effect in NiFe/FeMn/Al/NiFe
임재준, 호영강, 웬충단, 김철기, 김종오
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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이온 빔 식각에 의한 나노구조 양자점 제조|Nano-structured quantum dot formed by ion beam etching
김형석, 서주형, 박찬경
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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상부 NiFe의 Ar 이온빔 에칭에 의한 NiFe/FeMn/Al/NiFe 구조의 다층박막에서 하부 NiFe 교환바이어스 조사|Assessment of Bottom NiFe Anomalous Exchange Bias by Ar Ion Beam Etching of Top NiFe in NiFe/FeMn/Al/NiFe
윤상민, 임재준, 김철기, 김종오
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
