| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Abatement of CF4 and CHF3 using low-pressure plasmas generated by annular-shaped electrodes 허민, 이재옥, 유훈아, 송영훈 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Abatement of CF4 and CHF3 using low-pressure plasmas generated by annular-shaped electrodes 허민, 이재옥, 유훈아, 송영훈 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |