| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
MEDICI와 SUPREM4를 이용한 폴리 실리콘 게이트의 벽면 기울기에 따른 NMOS 소자의 전기적 특성 분석 (A study of Electrical Characteristics of NMOS device with different sidewall angles of poly-silicon gate using MEDICI and SUPREM4) 노호섭, 김진수, 신주용, 송한정, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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MEDICI와 SUPREM4를 이용한 폴리 실리콘 게이트의 벽면 기울기에 따른 NMOS 소자의 전기적 특성 분석 (A study of Electrical Characteristics of NMOS device with different sidewall angles of poly-silicon gate using MEDICI and SUPREM4) 노호섭, 김진수, 신주용, 송한정, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |