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나노미터급에서 Magnetic tunneling junction 물질의 etch damage 개선에 관한 연구
양경채, 김수강, 이호석, 염근영
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Anisotropic etching of nanometer-scale patterned MTJ stacks under various etch gases
최재상, 이재용, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas
황수민, 아드리안, 최지현, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Etching Properties of Magnetic Tunnel Junction Materials using CO/NH3 Gas Mixtures in Pulsed-bias ICP System
윤덕현, 염근영
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Investigation on High Density Plasma Reactive Ion Etching of CoFeB Thin Films For Nonvolatile Magnetic Random Access Memory
김은호, 소우빈, 공선미, 정지원
한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |
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HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성
민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각
민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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차세대 자성 메모리에의 응용을 위한 나노미터 크기의 magnetic tunnel junction 패터닝
신별, 정지원, 박익현
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
