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Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) Materials using Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for MRAM devices
김예은, 김두산, 김주은, 길유정, 장윤종, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Enhancement of the TMR ratio for Double MgO based Perpendicular Magnetic-tunnel-junction Spin-valve by reducing Synthetic-anti-ferromagnetic Multi-layers
이동기, 최진영, Kondo Kei, 백종웅, 박재근
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Anisotropic etching of nanometer-scale patterned MTJ stacks under various etch gases
최재상, 이재용, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Improving Thermal Stability of CoFeB Free Layer with [Co/Pt]6 Mulitlayers
Heon-Hak Ha, Hun-Mo Yang, Dong-Bum Seo, Jong-Ung Baek, Jin-Young Choi, Dong-gi Lee, Jea-Gun Park
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas
황수민, 아드리안, 최지현, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Etching Properties of Magnetic Tunnel Junction Materials using CO/NH3 Gas Mixtures in Pulsed-bias ICP System
윤덕현, 염근영
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a O2/Ar Plasma
이일훈, 이태영, 정지원
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성
민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각
민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
