번호 | 제목 |
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Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) Materials using Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for MRAM devices 김예은, 김두산, 김주은, 길유정, 장윤종, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
3 |
Comparison of Critical Parameters (TMR, Δ) for Perpendicular-Magnetic Tunneling Junction implementing Low Cobalt CFB Free and Pinned layer 전한솔, 이동기, 최진영, Kondo Kei, 백종웅, 박재근 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
2 |
나노미터급에서 Magnetic tunneling junction 물질의 etch damage 개선에 관한 연구 양경채, 김수강, 이호석, 염근영 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
1 |
유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각 김성희, 전민환, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |