화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 Nano-scale Patterning by Imprint Lithography Using Ni stamp
김남정, 박정갑, 김택유, 장재권, 주범석, 이창형, 장주희, 최우성, 서수정
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
5 UV NIL을 이용하여 flexible plastic film에 nano size의 pattern 형성에 관한 연구
이종화, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
4 EBL (Electron-Beam Lithorgaphy)을 이용한 Nanoimprinting용 Quartz Master제작
박정갑, 정근희, 나석민, 서수정
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
3 복제한 PDMS stamp를 이용한 NIL pattern의 특성 연구|PDMS stamp duplication @ NIL pattern morphology research
양기연, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
2 극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구|Optimization of mask fabrication process for EUV lithography
김우삼, 김충용, 김태근, 이승윤, 안진호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
1 UV-Nano imprint Lithography를 이용한 bilayer 형성과 금속 증착|Fabrication of bilayer morphology using UV-NIL system and metal deposition
양기연, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2005년 봄 학술대회