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Printing of Sub-10 nm Nanopattern Arrays using Atomic Layer Deposition of Alumina
우주연, 조성환, 오준호, 한창수
한국고분자학회 2019년 봄 학술대회 |
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Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential
김용재, 채희엽, 조예근, 이상인
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Improvement of line edge fluctuation and etching selectivity of self-assembled block copolymer patterns using a copolymerized block
송승원, 정연식
한국고분자학회 2017년 가을 학술대회 |
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전기적 특성 평가를 통한 Nano-Trench Patterned Si Wafer의 건식 세정 효과 분석
채명균, 최창환
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Realistic plasma surface reaction model for cyclic fluorocarbon atomic layer etching process
유혜성, 임연호, 육영근, 유동훈
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
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Enhanced light output power of AlGaN-based deep ultraviolet light-emitting diodes with nano-patterned AlN/sapphire substrates
이동현, 이종원, 장정환, 신인수, 김로, 박준혁, 김종명, 김정섭, 이진섭, 노혜석, 김용일, 박영수, 이건도, 박용조, 김종규, 윤의준
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Comparative Study on the Electrical Characteristics between Gate-First and Gate-Last Like Processed MOS Devices
Hoon Hee Han, Donghwan Lim, Yu-Rim Jeon, Jae Ho Lee, Changhwan Choi
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Nano-Scaled Silver Metal Cross Array Fabrication Using Nano-Imprint Lithography on the PET Substrate
Yu-Rim Jeon, Young In Gil, Donghwan Lim, Hoon Hee Han, Changhwan Choi
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Morphological transition of high-χ block copolymers by employing a combined annealing method
최영중, 박태완, 윤지선, 정영훈, 백종후, 조정호, 박운익
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Improved performance of AlGaN-based deep UV LED on nano-patterned substrate
이동현, 이종원, 장정환, 신인수, 김로, 박준혁, 김정섭, 이진섭, 노혜석, 김용일, 박영수, 이건도, 박용조, 김종규, 윤의준
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
