번호 | 제목 |
---|---|
2 |
루테늄 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 안정화 윤기정, 송오성, 김종률, 최용윤 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
1 |
코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide 정영순, 송오성 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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루테늄 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 안정화 윤기정, 송오성, 김종률, 최용윤 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide 정영순, 송오성 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |