19 |
군집 분석 기법을 통한 플라즈마 식각 공정의 식각 종말점 검출 이성현, 채희엽, 최호준, 김재현 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
18 |
Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process 노해랑, 김채선, 이혜지, 박태균, 이용석, 이찬민, 윤국한, 손영우, 최원혁, 이종민 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
17 |
Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process 김채선, 이혜지, 박태균, 선종우, 노해랑, 이종민 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
16 |
Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Modified Clustering Method 이성현, 채희엽 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
15 |
Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Discrete Wavelet Transform and Clustering Analysis Method 이성현, 채희엽 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
14 |
Sensitivity Enhancement of SiO2 Plasma Etching Endpoint Detection Using Modified Gaussian Mixture Model 이성현, 채희엽, 이상인 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
13 |
Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases 길유정, 김두산, 김주은, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
12 |
Optical Emission Spectroscopy of Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge and the Degradation of Methylene Blue Aqueous Solution 강서영, 김윤기 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
11 |
Effect of dielectric materials on characteristics of a dielectric barrier discharge system 박창진, 김창구 한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
10 |
High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications 아드리안, 최지현, 황수민, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |