화학공학소재연구정보센터
번호 제목
19 군집 분석 기법을 통한 플라즈마 식각 공정의 식각 종말점 검출
이성현, 채희엽, 최호준, 김재현
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
18 Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process
노해랑, 김채선, 이혜지, 박태균, 이용석, 이찬민, 윤국한, 손영우, 최원혁, 이종민
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
17 Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process
김채선, 이혜지, 박태균, 선종우, 노해랑, 이종민
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
16 Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Modified Clustering Method
이성현, 채희엽
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
15 Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Discrete Wavelet Transform and Clustering Analysis Method
이성현, 채희엽
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
14 Sensitivity Enhancement of SiO2 Plasma Etching Endpoint Detection Using Modified Gaussian Mixture Model
이성현, 채희엽, 이상인
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
13 Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases
길유정, 김두산, 김주은, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
12 Optical Emission Spectroscopy of Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge and the Degradation of Methylene Blue Aqueous Solution
강서영, 김윤기
한국재료학회 2019년 봄 학술대회
11 Effect of dielectric materials on characteristics of a dielectric barrier discharge system
박창진, 김창구
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
10 High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
아드리안, 최지현, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회