화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 인이 확산된 Si의 표면저항과 확산깊이의 관계
신동휘, 변창섭, 김선태
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
2 Cu 배선의 확산 방지막에 적용 가능한 무전해 도금 Co-Re-B-P 연구
박수호, 강성군
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
1 p형 Si에서 인(P)의 확산
신동휘, 김태호, 변창섭, 김선태
한국재료학회 2009년 가을 학술대회