| 번호 | 제목 |
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SiH₄플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실헙적 분석|Experimental Analysis on Particle Growth in SiH₄Plasma Reactor 홍성택,김동주,김교선|Sung-Taik Hong,Dong-Joo Kim,Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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공정 변수 변화에 따른 실란 PCVD 반응기에서의 입자 특성|The Characteristics of Particles in Silane PCVD Reactor Changing the Process Variables 김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
