번호 | 제목 |
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열플라즈마 공정에 의한 반도체 유해가스 처리 및 금속 나노분말 제조 최경수, 박동화 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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반도체 폐가스처리를 위한 열플라즈마 공정 개발|Development of thermal plasma processing for treatment of the semiconductor waste gas 선종우, 박동화|Jong-Woo Sun, Dong-Wha Park 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |