화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 열플라즈마 공정에 의한 반도체 유해가스 처리 및 금속 나노분말 제조
최경수, 박동화
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회
1 반도체 폐가스처리를 위한 열플라즈마 공정 개발|Development of thermal plasma processing for treatment of the semiconductor waste gas
선종우, 박동화|Jong-Woo Sun, Dong-Wha Park
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회