| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
플라즈마내의 이온 충격을 이용한 Photoresist strip 용액의 활성화방법 연구 김수인, 이창우 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
| 1 |
초임계 단일상 혼합유체를 이용한 반도체 패턴 웨이퍼상의 post-metal each residue 세정 연구 김진우, 강창일, 김태형, 한갑수, 임종성, 유기풍 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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플라즈마내의 이온 충격을 이용한 Photoresist strip 용액의 활성화방법 연구 김수인, 이창우 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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초임계 단일상 혼합유체를 이용한 반도체 패턴 웨이퍼상의 post-metal each residue 세정 연구 김진우, 강창일, 김태형, 한갑수, 임종성, 유기풍 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |