| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
CMP conditioner의 diamond 크기, 배열, 형상 변화가 pad conditioning 공정에 미치는 영향 강봉균, 강영재, 김규채, 박진구, 이주한, 안정수, 조병권 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
Conditioner disk의 diamond의 형상에 따라 Polishing Pad에 미치는 영향 김규채, 강영재, 유영삼, 박진구, 원영만, 오광훈 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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CMP conditioner의 diamond 크기, 배열, 형상 변화가 pad conditioning 공정에 미치는 영향 강봉균, 강영재, 김규채, 박진구, 이주한, 안정수, 조병권 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Conditioner disk의 diamond의 형상에 따라 Polishing Pad에 미치는 영향 김규채, 강영재, 유영삼, 박진구, 원영만, 오광훈 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |