학술대회 목록보기 번호 제목 1 C7F14 플라즈마를 이용한 SiO2, Si3N4의 식각 연구탁현우, 성다인, 양경채, 김수강, 김동우, 염근영한국재료학회 2018년 가을 학술대회 1
