| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 7 |
Imprinting을 이용한 DNA array chip용 Nano well 형성방법 이정환, 조시형, 김동진, 임현우, 박진구 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
| 6 |
Multi-directional plasma etching using a Faraday Cage 이승행, 민재호, 이진관, 장일용, 문상흡 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 5 |
ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교 권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 4 |
Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 3 |
Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주, 채환국 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 2 |
The Generation of 2D Metallic and Polymeric Nanopattern by Soft Lithography 최대근;양승만 한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
| 1 |
Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식각 장비 진단|Diagnostics of High Density Plasma Etcher by Langmuir Probe 박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
