| 11 |
SiO2 contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O2/Ar plasmas
유상현, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 10 |
Application of plasma chemistry in environmental technology
김수한, 최준
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
| 9 |
Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
| 8 |
Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model
육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 7 |
Effect of gas composition on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas
박정근, 김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 6 |
메탄개질에서의 plasma chemistry의 역할
송영훈, 황나경, 김관태, 김석준
한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
| 5 |
플라즈마를 이용한 탄화수소 개질 공정
이대훈, 김관태, 이재옥, 송영훈
한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
| 4 |
SiO2 Etching Studies in Inductively Coupled C4F6 Plasma
채화영, 장원석, 유동훈, 김진태, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
| 3 |
고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry
함동은, 신수범, 안진호
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
| 2 |
NOx 제거용 코로나 방전 반응기에서의 플라즈마 화학 및 입자 성장|The Plasma Chemistry and Particle Growth in the Corona Discharge Reactor for removal of NOx
김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
