화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 다양한 펄스 플라즈마를 이용한 식각 기술 향상을 위한 연구
홍종우, 오지수, 김희주, 김정완, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
2 Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma
신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
1 Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구
김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회