번호 | 제목 |
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3 |
다양한 펄스 플라즈마를 이용한 식각 기술 향상을 위한 연구 홍종우, 오지수, 김희주, 김정완, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
2 |
Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
1 |
Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구 김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |