번호 | 제목 |
---|---|
2 |
Methods and properties of quadratic iterative learning control for semi-conductor processes under different perturbations 박준형, 이광순 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
1 |
실시간 외란에 강인한 Two Stage 반복 학습제어기를 이용한 RTP 장치 웨이퍼 온도의 다변수 제어 조문기, 이광순, 주상래, 이용희 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |