| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Deposition of SiO2 Layer in a 300mm Rapid Thermal Process Equipment using Remote Oxygen Plasma 이혜원, 주상래, 서승택, 이광순 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Deposition of SiO2 Layer in a 300mm Rapid Thermal Process Equipment using Remote Oxygen Plasma 이혜원, 주상래, 서승택, 이광순 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |