번호 | 제목 |
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1 |
RTP 공정에 대한 모델링 및 제어|Modeling and Control of Rapid Thermal Processing 박형진, 복진광, 박선원|Hyung-Jin Park, Jinkwang Bok, Sunwon Park 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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RTP 공정에 대한 모델링 및 제어|Modeling and Control of Rapid Thermal Processing 박형진, 복진광, 박선원|Hyung-Jin Park, Jinkwang Bok, Sunwon Park 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |