번호 | 제목 |
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1 |
PVT공정에서의 희박기체 유동 CFD 모사|CFD Simulation of Rarefied Gas Flows in Physical Vapor Transport (PVT) 송현섭,임예훈,한상필|Hyun-Seob Song,Ye Hoon Im,Sang Phil Han 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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PVT공정에서의 희박기체 유동 CFD 모사|CFD Simulation of Rarefied Gas Flows in Physical Vapor Transport (PVT) 송현섭,임예훈,한상필|Hyun-Seob Song,Ye Hoon Im,Sang Phil Han 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |