| 번호 | 제목 |
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Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구 박주홍, 이제원, 김재권, 이성현 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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다층 RIE Electrodes를 이용한 아크릴의 O2/N2 Plasma etching(O2/N2 Plasma etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes system) 김재권, 박연현, 백인규, 주영우, 김주형, 조관식, 이제원 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 3 |
자성 박막의 건식 식각 송영수, 정지원 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
| 2 |
The Generation of 2D Metallic and Polymeric Nanopattern by Soft Lithography 최대근;양승만 한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
