| 번호 | 제목 |
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| 4 |
Combined Run-to-Run and Real-time Multivariable Control for Wafer Temperature Uniformity in a 12-inch RTP Equipment 원왕연, 윤우현, 이광순, 지상현, 나병철, 이세찬 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 3 |
Run-to-Run Control of Inductively Coupled C2F6 Plasma Etching of SiO2: Multivariable Controller Design and Numerical Application 서승택, 이광순, 양대륙, 최범규 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
| 2 |
Dry Etching of SiO2 with C2F6 Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code 서승택, 이광순, 양대륙, 최범규 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Dry Etching of SiO2 with C2F6 Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code 서승택, 이용희, 이광순 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
