화학공학소재연구정보센터
번호 제목
17 물재이용 분야 국가표준개발 현황 및 표준개발 로드맵에 관한 연구
이나래, 방우혁, 박찬규, 박승민
한국공업화학회 2022년 봄 학술대회
16 Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface
한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
15 Study on the Surface Potential Defects Behavior of P-type silicon wafer
신정원, 함호찬
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
14 실리콘 웨이퍼 상 금속 오염 세정 공정 연구
이동환, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회
13 Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구
송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
12 InAs의 습식 화학 공정에 따른 표면 특성 연구
나지훈, 서동완, 이진훈, 임상우
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
11 약산을 이용한 기-액 하이브리드 플라즈마의 산화구리 용해도 분석
권흥수, 이원규
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
10 Phase Shift Mask의 표면개질에 의한 Critical Dimension 변화억제
추혁성, 임상우
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회
9 SC1 세정과 Phase Shift Mask의 CD 변화와의 관계 파악
추혁성, 임상우
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회
8 EUV Mask의 내구성 향상을 위한 cleaning chemistry별 표면 특성 연구
윤미현, 오지숙, 임상우
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회