번호 | 제목 |
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물재이용 분야 국가표준개발 현황 및 표준개발 로드맵에 관한 연구 이나래, 방우혁, 박찬규, 박승민 한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
16 |
Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface 한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
15 |
Study on the Surface Potential Defects Behavior of P-type silicon wafer 신정원, 함호찬 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
14 |
실리콘 웨이퍼 상 금속 오염 세정 공정 연구 이동환, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
13 |
Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구 송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
12 |
InAs의 습식 화학 공정에 따른 표면 특성 연구 나지훈, 서동완, 이진훈, 임상우 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
11 |
약산을 이용한 기-액 하이브리드 플라즈마의 산화구리 용해도 분석 권흥수, 이원규 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
10 |
Phase Shift Mask의 표면개질에 의한 Critical Dimension 변화억제 추혁성, 임상우 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
9 |
SC1 세정과 Phase Shift Mask의 CD 변화와의 관계 파악 추혁성, 임상우 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
8 |
EUV Mask의 내구성 향상을 위한 cleaning chemistry별 표면 특성 연구 윤미현, 오지숙, 임상우 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |