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학술대회 목록보기

번호	제목
40	Removing Residual Gas in Semiconductor Specialty Gas Pipelines Using CFD 서이레, 전락영, 이창하 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
39	HCl gas detection of poly(N,N-dimethylamino ethyl methacrylate) coated QCM sensor 양진철, 곽기섭, 박진영 한국고분자학회 2021년 봄 학술대회
38	Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Modified Clustering Method 이성현, 채희엽 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
37	Halogen-free Atomic Layer Etching of Metal Oxides 이정빈, 노재홍, 박태주, 김우희 한국재료학회 2021년 가을 학술대회
36	Development of recycling process improvement technology for commercialization of etching solution generated from semiconductor process Se Chul Hong, Mi Young Son, Hee Yul Yang, Dipak Sen 한국재료학회 2021년 가을 학술대회
35	Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Discrete Wavelet Transform and Clustering Analysis Method 이성현, 채희엽 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
34	A Novel CMP (Chemical Mechanical Planarization) Abrasive of Nanocluster colloidal ceria; Surface Topology, Crystallinity, activity, and Oxide Removal rate 김나연, 김준영, 황의석, 정준영, 박인경, 남재도 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
33	Differences in plasma and thermal resistance performance of FFKM, base on morphology with carbon allotropes 이윤수, 류승훈 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회
32	Evaluating Effectiveness of Dust By-product Treatment with Scrubbers to Mitigate Explosion Risk in ZrO₂ Atomic Layer Deposition Process 이광호, 정승호, 송두근, 이제찬 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
31	A study on isotropic pitch-based carbon materials for Semiconductor manufacturing 최용환, 이동훈, 김병주 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회