번호 | 제목 |
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Study on interaction between ceria and various silicon-based wafers for brand-new semiconductor cleaning process 명경규, 변진욱, 임태호, 김재정 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향 유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
1 |
Semiconductor Cleaning for Nano Scale Device 이헌정, 이다희 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |