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High-k gate dielectric properties from hydrocarbon film grown by inductively coupled plasma chemical vapor deposition Viet Dongquoc, Dong-Bum Seo, Tran Nam Trung, Eui-Tae Kim 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Initial nucleation for atomic layer deposition (ALD) of group III oxides: a quantum chemical comparative study ANSARI ABU SAAD, Shimeles Shumi Raya, 송봉근 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Temperature Dependence of ZnO Growth Mechanism on Si(100) Substrate by Atomic Layer Deposition Seunghee Cho, Woo seop Jeong, Hyun-A Ko, Doo Won Lee, Min Joo Ahn, Kyu Yeon Shim, Seong Ho Kang, Dongjin Byun 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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불소도핑 농도 조절을 통한 SnO2기반 에너지변환소자 성능제어 박정석, 임지수, 최건주, 박일규 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Growth and characterization of NiAl-layered double hydroxide 전찬우, 이상석, 조승범, 조준범, 박일규 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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RF 스퍼터링으로 증착된 n-ZnO 박막의 두께에 따른 특성 유준웅, 한승수, 김선태, 변창섭 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘 조승희, 김대식, 정우섭, 김철, 변동진 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Si(100)에 ALD모드로 성장시킨 ZnO의 온도별 성장 메커니즘 조승희, 변동진, 김대식, 정우섭, 박준성, 김철, 고현아 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Crystallinity and energy band structure of atomic layer deposited ZrO2 films using Cp-Zr precursor Hyoseok Song, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Control of preferred orientation and residual stress of ZnO prepared by Atomic Layer Deposition 배선호, 김대식, 정서주, 정우섭, 이지은, 조승희, 박준성, 변동진 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |