화학공학소재연구정보센터
번호 제목
13 Preparation of Fluorescent Si-Quantum Dot based on both Organo Silane and Monosaccharide
류보원, 조성호, 최유진, 안태규, 인인식
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
12 MINS master mold fabrication with silicon nanowire template
강달영
한국공업화학회 2011년 봄 학술대회
11 Fabrication of Backside-Illuminated CMOS Image Sensor Using 3-D Interconnect Technologies
표성규
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
10 Control of RIE lag in Si etching
신우식, 김창구
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
9 Characteristics of deep Si etching using the advanced Bosch process in PFC- and UFC- containing plasmas
지정민, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회
8 Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
7 Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발
강형범, 조시형, 서정호, 조민수, 임현우, 박진구
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
6 Optimization of Deep Si Etching using C4F8/SF6 and C4F6/SF6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 김창구
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회
5 Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
4 Compariosn of etch characteristics in deep Si etching using PFC- and UFC-containing plasmas
이형무, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회