| 11 |
Enhanced mechanical properties of SiCOH/mesoporous SiO2 ultralow dielectric films
박종민, 공병선, 김경환, 정희태
한국고분자학회 2013년 봄 학술대회 |
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Enhanced mechanical properties of ATMS/SBA-15 composite films by dual forms
박종민, 공병선, 강상우, 정희태
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 9 |
Nanoporous SiCOH Dual Phase Films with Low Dielectric Constant, Excellent Thermal and Mechanical Properties
박종민, 공병선, 정희태
한국고분자학회 2012년 가을 학술대회 |
| 8 |
New structure of ultra low-k materials using SiCOH/mesoporous SiO2 composite films with robust mechanical properties
박종민, 공병선, 정희태
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
| 7 |
Microporous SiCOH Thin Films with Low Dielectric Constants and high Young’s Modulus
박종민, 공병선, 정희태
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
| 6 |
Nanoporous Low-k Allyltrimethylsilane (ATMS) Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
박종민, 공병선, 정희태
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
| 5 |
Nanoporous Low-k Allyltrimethylsilane (ATMS) Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
박종민, 정희태
한국고분자학회 2010년 가을 학술대회 |
| 4 |
Structural Analysis of Nanoporous Low-Dielectric Constant SiCOH Films using Organosilane Precursors
허규용, 박성규, 윤진환, 진상우, 이시우, 이문호
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
| 3 |
Fabrication and thermal stability of W, WNx diffusion barriers in the low-k integration structure
전성호, 용기중
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 2 |
Low-k SiCOH Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition using Divinyldimethylsilane
박성규, 이시우
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
