화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Influence of plasma treatment on passivation properties of silicon nitride.
김재은, 이경동, 이해석, 강윤묵, 김동환
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
2 Effects of varying Radio Frequency on Properties of SiNx:H films for Silicon Solar Cells
Kyung Dong Lee, Seongtak Kim, Kwang-sun Ji, Hyunho Kim, Sungeun Park, Soohyun Bae, Hae-seok Lee, Yoonmook Kang, Donghwan Kim
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
1 High power, high frequency PECVD 로 증착한 SiNx:H 반사방지막의 화학적 조성 및 광학적 특성 평가
이민정, 박지현, 이동원, 최대규, 이태일, 명재민
한국재료학회 2011년 봄 학술대회