번호 | 제목 |
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Influence of plasma treatment on passivation properties of silicon nitride. 김재은, 이경동, 이해석, 강윤묵, 김동환 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effects of varying Radio Frequency on Properties of SiNx:H films for Silicon Solar Cells Kyung Dong Lee, Seongtak Kim, Kwang-sun Ji, Hyunho Kim, Sungeun Park, Soohyun Bae, Hae-seok Lee, Yoonmook Kang, Donghwan Kim 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
1 |
High power, high frequency PECVD 로 증착한 SiNx:H 반사방지막의 화학적 조성 및 광학적 특성 평가 이민정, 박지현, 이동원, 최대규, 이태일, 명재민 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |